[发明专利]低轮廓换能器模块在审
| 申请号： | 201510476094.4 | 申请日： | 2015-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN105366628A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | A.德赫;H.托伊斯 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;胡莉莉 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低轮廓换能器模块。公开了换能器结构。换能器结构可包括衬底，其具有位于衬底的第一侧面上的MEMS结构以及耦合到衬底的第一侧面并覆盖MEMS结构的盖。衬底可包括在衬底的第一侧面上从盖横向移位并电耦合到MEMS结构的电接触部。 | ||
| 搜索关键词： | 轮廓 换能器 模块 | ||
【主权项】：
1.一种换能器结构，包括：衬底；微机电系统结构，其被设置在所述衬底的第一侧面之上；以及盖，在所述衬底的所述第一侧面之上覆盖所述微机电系统结构；所述衬底包括横向移位到在所述衬底的所述第一侧面上的所述盖的电接触部，其中所述电接触部电耦合到所述微机电系统结构。
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