[发明专利]一种晶片测试方法在审

专利信息
申请号: 201510480909.6 申请日: 2015-08-08
公开(公告)号: CN105118795A 公开(公告)日: 2015-12-02
发明(设计)人: 施勇 申请(专利权)人: 海门市明阳实业有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226141 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种晶片测试方法,包括如下步骤:首先,根据晶片及探针卡的信息,计算同测时探针的最短走向;然后,测试仪把走向的方式通过GPIB(通用接口总线)接口给探针台系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向,实现对晶片测试的最优化。本发明利用软件自动计算wafer测试的最短走向,然后测试仪把走向的方式通过GPIB接口给探针卡系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向,实现对wafer测试的最优化,减少了在同测时对wafer的扎针次数,从而缩短了wafer的测试时间,提高了测试效率,节省了人力成本。
搜索关键词: 一种 晶片 测试 方法
【主权项】:
一种晶片测试方法,其特征在于,该晶片测试方法包括如下步骤:步骤1:根据晶片及探针卡的信息,计算同测时探针台系统托盘的最短走向,并储存数据;步骤2:测试仪把走向方式的信息通过GPIB接口给探针台系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向;步骤3:探针台系统取得测试仪的走向信息后,探针台系统托盘移动到的相应位置,扎针,然后探针台系统给测试仪发送可以开始测试的信息;步骤4:测试仪收到开始测试的命令后,测试程序开始测试,测试完毕后,把测试结果和一个移动位置测试结束的命令发送给探针台系统,探针台系统收到信息后,把针移开,等待接收下一个移动位置的坐标信息;步骤5:探针台系统和测试仪重复步骤2至步骤4的操作,直到测试仪给探针台系统发送整枚晶片测试完毕的信息;步骤6:对完成测试后的数据信息进行筛选和校准。
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