[发明专利]一种晶片测试方法在审
申请号: | 201510480909.6 | 申请日: | 2015-08-08 |
公开(公告)号: | CN105118795A | 公开(公告)日: | 2015-12-02 |
发明(设计)人: | 施勇 | 申请(专利权)人: | 海门市明阳实业有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226141 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶片测试方法,包括如下步骤:首先,根据晶片及探针卡的信息,计算同测时探针的最短走向;然后,测试仪把走向的方式通过GPIB(通用接口总线)接口给探针台系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向,实现对晶片测试的最优化。本发明利用软件自动计算wafer测试的最短走向,然后测试仪把走向的方式通过GPIB接口给探针卡系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向,实现对wafer测试的最优化,减少了在同测时对wafer的扎针次数,从而缩短了wafer的测试时间,提高了测试效率,节省了人力成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶片 测试 方法 | ||
【主权项】:
一种晶片测试方法,其特征在于,该晶片测试方法包括如下步骤:步骤1:根据晶片及探针卡的信息,计算同测时探针台系统托盘的最短走向,并储存数据;步骤2:测试仪把走向方式的信息通过GPIB接口给探针台系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向;步骤3:探针台系统取得测试仪的走向信息后,探针台系统托盘移动到的相应位置,扎针,然后探针台系统给测试仪发送可以开始测试的信息;步骤4:测试仪收到开始测试的命令后,测试程序开始测试,测试完毕后,把测试结果和一个移动位置测试结束的命令发送给探针台系统,探针台系统收到信息后,把针移开,等待接收下一个移动位置的坐标信息;步骤5:探针台系统和测试仪重复步骤2至步骤4的操作,直到测试仪给探针台系统发送整枚晶片测试完毕的信息;步骤6:对完成测试后的数据信息进行筛选和校准。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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