[发明专利]一种基板及光阻层的制作方法有效
申请号: | 201510485932.4 | 申请日: | 2015-08-10 |
公开(公告)号: | CN105044966B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 刘国和 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G03F7/16 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种基板及光阻层的制作方法,所述方法包括:衬底上制作配向电极,所述配向电极用于在所述衬底通有正、负电压时,产生多个水平电场;将彩色量子棒与光阻剂均匀混合,形成混合材料,将所述混合材料涂布所述衬底上;在所述衬底上通入正、负电压,以使所述彩色量子棒的长轴在所述配向电极产生的所述水平电场作用下沿着水平方向进行定向排列;对所述衬底进行真空干燥,以增大所述光阻剂的粘度;在通电预设时间后进行断电,形成光阻层;其中所述量子棒的长轴始终沿水平方向定向排列。本发明的基板及光阻层的制作方法,通过外加电场对量子棒进行配向,并利用光阻剂的高粘度实现对电场配向后的量子棒进行固定,简化制程,节省生产成本。 | ||
搜索关键词: | 衬底 配向 量子 光阻层 光阻剂 基板 定向排列 混合材料 水平电场 电极 制作 负电压 长轴 电场 电极产生 外加电场 高粘度 预设 制程 生产成本 断电 通电 | ||
【主权项】:
1.一种光阻层的制作方法,其特征在于,包括:通过黄光制程在衬底上制作配向电极,所述配向电极用于在所述衬底通有正、负电压时,产生多个水平电场;将彩色量子棒与光阻剂均匀混合,形成混合材料;将所述混合材料涂布在具有所述配向电极的所述衬底上;其中所述彩色量子棒具有长轴;所述彩色量子棒包括红色量子棒、绿色量子棒、蓝色量子棒;在所述涂布有所述混合材料的所述衬底上通入正、负电压,以使所述彩色量子棒的长轴在所述配向电极产生的所述水平电场作用下沿着水平方向进行定向排列;对所述涂布有所述混合材料的所述衬底进行真空干燥,以增大所述光阻剂的粘度;以及在通电预设时间后进行断电,形成光阻层;其中所述量子棒的长轴始终沿水平方向定向排列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司,未经深圳市华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510485932.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于蚀刻氟聚合物基片的方法和设备
- 下一篇:一种能效检测数据冗余方法