[发明专利]布轮抛光湿度检测误差修正方法有效
申请号: | 201510496014.1 | 申请日: | 2015-08-13 |
公开(公告)号: | CN104999369B | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 刘建春;陈雄风;柯晓龙;黄海滨;林晓辉 | 申请(专利权)人: | 厦门理工学院 |
主分类号: | B24B49/00 | 分类号: | B24B49/00 |
代理公司: | 泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙) 35221 | 代理人: | 麻艳 |
地址: | 361024 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种布轮抛光湿度检测误差修正方法,涉及布轮抛光加工领域。其提供一种原理简单、操作方便的布轮抛光湿度检测误差修正方法,由于湿度传感器检测的布轮抛光湿度值会随着探头与布轮的距离、抛光布轮半径、布轮表面灰度值的变化而产生一定的误差,该方法自动在线修正湿度检测误差,有效提高了湿度检测值的准确性。通过控制一种变量按固定值变化,统计布轮湿度检测值的变化量,来预测变量在其余数值下所引起的检测湿度值误差,最终将三种误差叠加,补偿到湿度检测值中。 | ||
搜索关键词: | 抛光 湿度 检测 误差 修正 方法 | ||
【主权项】:
1.一种布轮抛光湿度检测误差修正方法,其特征在于:设定当布轮为最大半径R时,湿度传感器检测探头与布轮表面的距离为基准距离L,同时设定布轮表面灰度值为0,此时布轮的湿度检测值为基准湿度值Hr;在存储器中事先存储其中一个参数变化,另两个参数固定时的湿度误差值,即由距离变化引起的湿度检测误差△HL,由布轮半径变化引起的湿度检测误差△HR,由布轮表面灰度值变化引起的湿度检测误差△HG;检测当前布轮湿度值H,并检测当前湿度传感器检测探头与布轮表面距离、当前布轮半径、当前布轮表面灰度值,根据当前值找出相应的湿度检测误差,修正湿度检测值H′=H+△HL+△HR+△HG;在实际应用时,检测探头与布轮表面距离Lx、布轮半径Rx及布轮表面灰度值Gx,在存储器中选择与检测值相同或最近的一个数值,以该数值对应的湿度变化量所对应的湿度误差值△HLx、△HRx及△HGx。
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