[发明专利]一种小开口蒸镀用掩模板在审
| 申请号： | 201510517491.1 | 申请日： | 2015-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN105154822A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;赵录军;杨涛 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种小开口蒸镀用掩模板，该掩模板包括掩模层和掩模支撑层两层结构，所述掩膜层具有由掩模开口阵列形成的开口单元，所述掩模支撑层具有由支撑窗口阵列形成的窗口单元，通过合理的配置掩膜层和掩模支撑层的结构，该掩模板可以将构成掩模板的掩模层做的很薄，如此在保证掩模层的掩模开口具有较小高宽比的前提下，进一步将开口的宽度尺寸做的更小，从而使得形成的最终掩模板能够蒸镀形成分辨率更高的OLED产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开口 蒸镀用掩 模板 | ||
【主权项】：
一种小开口蒸镀用掩模板，所述掩模板包括掩模层和掩模支撑层两层结构，所述掩膜层具有由掩模开口阵列形成的开口单元，所述掩模支撑层具有由支撑窗口阵列形成的窗口单元，其特征在于：所述掩模层和所述掩模支撑层之间紧密贴合；构成所述开口单元的掩模开口阵列方式与构成所述窗口单元的支撑窗口阵列方式相同，所述掩模开口与所述支撑窗口一一对应，且每个所述掩模开口设置于相应的所述支撑窗口内部；所述掩模开口的开口尺寸小于相对应的所述支撑窗口的开口尺寸，所述掩膜层的厚度不大于所述掩模支撑层的厚度。
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