[发明专利]状态期间的子脉冲有效
| 申请号： | 201510523879.2 | 申请日： | 2015-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN105391427B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 约翰·C·小瓦尔考;哈梅特·辛格;布拉德福德·J·林达克尔 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H03K3/02 | 分类号： | H03K3/02;H01J37/36 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及状态期间的子脉冲，描述了一种用于在状态期间实现子脉冲的方法。所述方法包括：从时钟源接收时钟信号，所述时钟信号具有两个状态；并且从所述时钟信号产生脉冲信号。所述脉冲信号在所述状态之一内具有子状态。所述子状态以大于所述状态的频率的频率彼此相对交替。所述方法包括提供所述脉冲信号以控制由射频发生器产生的射频(RF)信号的功率。所述功率被控制成与所述脉冲信号同步。 | ||
| 搜索关键词： | 状态 期间 脉冲 | ||
【主权项】：
1.一种用于在射频发生器的第一状态期间建立子状态的方法，其包括：接收来自时钟源的时钟信号，所述时钟信号具有包括所述第一状态和第二状态的两个状态；从所述时钟信号产生脉冲信号，所述脉冲信号在所述第一状态内具有所述子状态，所述子状态以大于所述状态的频率的频率彼此相对交替；提供所述脉冲信号以控制由第一射频发生器产生的第一射频信号的功率，所述功率被控制成与所述脉冲信号同步；将具有所述子状态并且具有所述第二状态的所述第一射频信号供应到连接到等离子体室的电极的阻抗匹配电路；以及从第二射频发生器将具有所述第一状态而没有所述子状态并且具有所述第二状态的第二射频信号供应到连接到所述电极的所述阻抗匹配电路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510523879.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
