[发明专利]制备钨铼基钡钨阴极的方法有效
申请号: | 201510524159.8 | 申请日: | 2015-08-24 |
公开(公告)号: | CN105118760B | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 王小霞;漆世锴;胡明炜;赵青兰;李云;张琪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | H01J9/04 | 分类号: | H01J9/04;H01J19/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种制备钨铼基钡钨阴极的方法。该方法包括步骤A制备NH4ReO4水溶液;步骤B将多孔W基底浸入所述NH4ReO4水溶液中,使所述多孔W基底吸附NH4ReO4;步骤C对吸附NH4ReO4后的多孔W基底进行烘烤、烧结,使其转化为W‑Re基底;以及步骤D在W‑Re基底中浸入铝酸盐并覆膜制备阴极,完成钨铼基钡钨阴极的制备。本发明采用液固相法实现了合成性能优良的浸渍钡钨阴极W‑Re基底,可以提高W‑Re基底中Re在W基底中的掺杂均匀性,从而提高阴极发射性能,延长阴极寿命,具有较好的推广应用前景。 | ||
搜索关键词: | 制备 钨铼基钡钨 阴极 方法 | ||
【主权项】:
一种制备钨铼基钡钨阴极的方法,其特征在于,包括:步骤A:制备NH4ReO4水溶液;步骤B:将多孔W基底浸入所述NH4ReO4水溶液中,使所述多孔W基底吸附NH4ReO4;步骤C:对吸附NH4ReO4后的多孔W基底进行烘烤、烧结,使其转化为W‑Re基底;以及步骤D:在W‑Re基底中浸入铝酸盐并覆膜制备阴极,完成钨铼基钡钨阴极的制备;其中,所述步骤C中,所述烘烤为在真空气氛中烘烤,所述烧结为在氢气气氛下烧结,所述步骤C包括:将多孔W基底放入真空炉中,在烘烤温度下烘烤30分钟;以及将烘烤后的多孔W基底置于氢气炉中,在第一烧结温度下烧结10分钟,第二烧结温度下烧结10分钟,使吸附NH4ReO4后的多孔W基底转化为W‑Re基底;其中,所述烘烤温度介于450℃至550℃之间,所述第一烧结温度介于950℃至1050℃之间,所述第二烧结温度为1250℃。
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