[发明专利]一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法有效
申请号: | 201510529154.4 | 申请日: | 2015-08-26 |
公开(公告)号: | CN105019023B | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 李东振;马远;邱一豇;吴勇;周健杰 | 申请(专利权)人: | 江苏中电振华晶体技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法,利用籽晶辐射散热开口的非旋转对称结构,引晶时包括如下步骤(1)籽晶下浸熔体液面3—5mm;(2)通过等待非旋转对称结构的散热口散热,使籽晶向一侧优先 生长出晶盘;(3)以3—12mm/h的平均提拉速度对籽晶进行提拉,提拉过程中采用间隔式瞬间提升,并旋转给定角度,间隔式瞬间提升后等待散热口方向再次生长出晶盘,以便进行下一次瞬间提升;(4)重复步骤(3)至晶节长度为60—80mm,形成螺旋状结构晶节,且固液相界面当量横截面直径为40—60mm时,结束引晶。本发明的优点在于可获螺旋形状引晶结构,使籽晶缺陷和位错可最大程度上得到消除;不易出现断裂,能提高晶体成品率、易于产业化。 | ||
搜索关键词: | 一种 泡生法 生长 蓝宝石 晶体 方法 | ||
【主权项】:
一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法,其特征在于:利用籽晶辐射散热开口的非旋转对称结构,引晶时包括如下步骤:(1)籽晶下浸熔体液面3—5mm;(2)通过等待非旋转对称结构的散热口散热,使籽晶向一侧优先 生长出晶盘,待晶盘长至3mm以上,进行下一步;(3)以3—12mm/h的平均提拉速度对籽晶进行提拉,提拉过程中采用间隔式瞬间提升,并旋转给定角度,间隔式瞬间提升后等待散热口方向再次生长出晶盘,以便进行下一次瞬间提升;(4)重复步骤(3)至晶节长度为60—80mm,形成螺旋状结构晶节,且固液相界面当量横截面直径为40—60mm时,结束引晶;所述步骤(2)中的非旋转对称结构的开口结构为逆时针旋转90度的“T”字形。
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