[发明专利]一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法

摘要

一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置，是由：竖梁一侧设置至少两根横梁，横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；中部横梁上面对称设置两个双面下弹性卡，双面上弹性卡与双面下弹性卡的卡头对应设置、单面上弹性卡与单面下弹性卡之间设置单面基片；加工真空溅射镀膜时，单面基片上边由两个单面上弹性卡对称辅助卡紧后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁与横梁和双面基片进入真空溅射镀膜箱中，对基片进行溅射镀膜；单面或双面镀膜共用一套装夹装备，通用性强；更换产品品种，方便快捷；徒手快速装卸基片；解决绕射问题，可以生产低阻高档产品；结构简单，加工容易，造价便宜，永久使用。

主权项

一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置，，是由：双面基片(1)、双面下弹性卡(2)、双面上弹性卡(3)、横梁(4)、竖梁(5)、单面上弹性卡(6)、单面下弹性卡(7)、单面基片(8)构成；其特征在于：竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4)，横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；中部横梁(4)上面对称设置两个双面下弹性卡(2)、上方横梁(4)下面对称设置两个双面上弹性卡(3)，双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)的卡头对应设置，双面下弹性卡(2)与双面上弹性卡(3)之间设置双面基片(1)；上方横梁(4)下面与中部横梁(4)上面设置一组双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)；上方横梁(4)的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡(6)、中部横梁(4)的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡(7)，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)的卡头对应设置，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)之间设置单面基片(8)；竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4)，上下相邻两根横梁(4)之间对应基片的规格设置，两根横梁(4)之间设置双面基片(1)；横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁(4)侧梁之间设置单面基片(8)。加工真空溅射镀膜对单面基片(8)镀膜时，先把单面基片(8)下边放入下横梁(4)的单面下弹性卡(7)的卡槽中，单面基片(8)下边由两个单面下弹性卡(7)对称支撑，再把上边横梁(4)的单面上弹性卡(6)的卡槽卡住单面基片(8)的上边，单面基片(8)上边由两个单面上弹性卡(6)对称辅助卡紧。