[发明专利]自动试样片制作装置有效
| 申请号： | 201510542307.9 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105388048B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 富松聪;佐藤诚;山本洋 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 试样 制作 装置 | ||
【主权项】：
1.一种自动试样片制作装置，其从试样自动制作试样片，其特征在于，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载物台，其放置并移动所述试样；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离和取出的所述试样片；保持器固定座，其保持具有柱状部的试样片保持器，其中所述试样片被移设到该柱状部；气体供给部，其供给通过所述带电粒子束的照射形成沉积膜的气体；以及计算机，其以在所述试样片与所述柱状部之间形成所述沉积膜的方式控制所述带电粒子束照射光学系统、所述试样片移设单元和所述气体供给部，直到所述试样片移设单元与所述试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。
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