[发明专利]一种涂布膜厚的检测系统及方法在审
| 申请号： | 201510556603.4 | 申请日： | 2015-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN105115432A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 吴利峰;李启明;徐海乐;丁鹏;徐先华;熊燕军 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂布膜厚的检测系统包括：探针，用于扫描PR膜层表面；反馈电路，用于控制扫描头在垂直方向上移动，以使扫描过程中每一点上所述探针和PR膜层表面之间的作用力保持恒定；光电检测器，用于将反射的激光束转化成电脉冲信号；计算机，用于将所述电脉冲信号转换成或明或暗的区域，以作为所述PR膜层厚度的原始数据。本发明量测时间更短，无需设置复杂的光学系统，量测与涂布过程同步进行，实现涂布膜厚的实时在线测量，可实时控制和调整涂布的膜厚，对监控涂布工艺的稳定性起着至关重要的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂布膜厚 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布膜厚的检测系统，其特征在于，所述涂布膜厚的检测系统包括：一探针，用于扫描PR膜层表面；一反馈电路，用于控制扫描头在垂直方向上移动，以使扫描过程中每一点上所述探针和PR膜层表面之间的作用力保持恒定；一光电检测器，用于将反射的激光束转化成电脉冲信号；一计算机，用于将所述电脉冲信号转换成或明或暗的区域，以作为所述PR膜层厚度的原始数据。
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