[发明专利]物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510557262.2 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105403209A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 古畑诚 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器元件(1)具备：检测部(21)；驱动部(24)；梁部(25)，其连接检测部(21)与驱动部(24)，梁部(25)具有分岔的部分。梁部(25)具有从驱动部(24)的互不相同的两个位置延伸出的两个质量部侧梁部、和从检测部(21)的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，两个质量部侧梁部的检测部(21)侧的端部彼此互相连接，并且两个支承部侧梁部的驱动部(24)侧的端部彼此互相连接。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 元件 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器元件，其特征在于，具备：支承部；质量部；梁部，其连接所述支承部与所述质量部，所述梁部具有分岔的部分。
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