[发明专利]用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置及方法在审
| 申请号： | 201510582070.7 | 申请日： | 2015-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN105200373A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 贾文斌;高昕伟;上官荣刚;王欣欣 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王闯 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置及方法，该用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置包括设置在真空蒸镀空间内的填料瓶、磁性盖板、蒸镀材料槽及磁感应驱动单元；填料装置及方法中，将磁性盖板铰接在填料瓶的瓶口处，瓶口外侧设置磁感应驱动单元，以驱动所述磁性盖板的开合，实现实时持续定量进行填料的功能，从而更多的蒸镀材料可一次性放入填料瓶内，不需多次从真空蒸镀空间外向蒸镀材料槽内填充蒸镀材料，也避免了蒸镀材料在放入有机腔室的过程中与大气中的氧和水汽发生反应，进而影响材料的纯度和蒸镀温度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 发光二极管 系统 中的 填料 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：包括设置在真空蒸镀空间内的填料瓶、磁性盖板、蒸镀材料槽及磁感应驱动单元，所述填料瓶瓶口朝下，所述磁性盖板铰接在所述填料瓶的瓶口处，所述填料瓶的瓶口朝向所述蒸镀材料槽，所述瓶口外侧设置磁感应驱动单元，以驱动所述磁性盖板的开合。
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