[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物、平板显示器的制法及平板显示器有效
| 申请号： | 201510589693.7 | 申请日： | 2015-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN105425554B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 金正铉;高京俊;李喻珍;金圣植 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明公开了一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：由以下化学式1表示的化合物(A)；包括伯烷醇胺和叔烷醇胺的烷醇胺(B)；伯醇(C)；以及极性非质子溶剂(D)；本发明还公开了一种用于制造平板显示器基板的方法以及一种平板显示器基板， |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 平板 显示器 制法 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：基于所述抗蚀剂剥离剂组合物的总重量，0.0001wt％至0.1wt％的由以下化学式1表示的化合物(A)；0.01wt％至10wt％的包括伯烷醇胺和叔烷醇胺的烷醇胺(B)；20wt％至85wt％的伯醇(C)；以及5wt％至75wt％的极性非质子溶剂(D)；[化学式1]![]()
其中，R1和R8各自独立地为氢原子或C1～C4烷基。
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