[发明专利]用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪在审
| 申请号： | 201510589812.9 | 申请日： | 2015-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN105203066A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 罗霄;熊玲;张峰;郑立功;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪属于光学检测领域，目的在于解决现有技术存在的摆臂轮廓仪测量大口径光学元件面形时臂长过长导致检测精度下降的问题。本发明的用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪包括悬挂装置、连接件A、气浮转台、连接件B、测量臂、配重件、连接件C和位移传感器；所述的气浮转台通过连接件A与悬挂装置悬挂连接；所述测量臂通过连接件B与气浮转台固定；所述的测量臂的一端通过连接件C固定位移传感器的测头；另一端设置有配重件。本发明的用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪可以提高摆臂轮廓检测的精度及检测稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 超大 口径 检测 悬挂 式摆臂 轮廓仪 | ||
【主权项】：
用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪，包括测量臂(4)和位移传感器(7)，其特征在于，还包括连接件A(1)、气浮转台(2)、连接件B(3)、配重件(5)和连接件C(6)；所述的气浮转台(2)通过连接件A(1)与悬挂装置(8)悬挂连接；所述测量臂(4)通过连接件B(3)与气浮转台(2)的固定；所述的测量臂(4)的一端通过连接件C(6)固定位移传感器(7)的测头；另一端设置有配重件(5)；所述气浮转台(2)的转轴随悬挂装置(8)倾斜，通过待测反射镜(9)最接近球球心。
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