[发明专利]基板加工装置有效
| 申请号： | 201510593720.8 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN105541096B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 得永直 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/03 | 分类号： | C03B33/03 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能简化夹紧装置的构成的基板加工装置。基板加工装置具备：搬送带(11)，搬送脆性材料基板；前步骤装置，将脆性材料基板自搬送带(11)的上方载置于搬送带(11)上；及夹紧装置(40)，将载置于搬送带(11)上的脆性材料基板夹紧。夹紧装置(40)具备：基板支撑部(51)，相对于搬送带(11)的位置固定，且自下方支撑脆性材料基板；及机械臂(57)，相对于基板支撑部(51)旋转或移动，将脆性材料基板夹入机械臂(57)与基板支撑部(51)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种基板加工装置，具备：搬送带，搬送脆性材料基板；前步骤装置，将所述脆性材料基板自所述搬送带的上方载置于所述搬送带上；及夹紧装置，将载置于所述搬送带上的所述脆性材料基板夹紧；且所述夹紧装置具备：基板支撑部，相对于所述搬送带的位置固定，且自下方支撑所述脆性材料基板；及机械臂，相对于所述基板支撑部旋转或移动，将所述脆性材料基板夹入机械臂与所述基板支撑部之间。
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