[发明专利]一种基板对位检测校准装置和方法有效
| 申请号： | 201510594023.4 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN105116571B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 沈庆鹤;马永增;岳兴;尹冬冬;吴斌 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板对位检测校准装置和方法，该装置包括：设置在基板载台上的对位单元、控制装置和基板位置检测单元；所述多个对位单元和所述基板位置检测单元分别与所述控制装置通信连接；所述基板位置检测单元扫描基板边缘，检测基板边缘到基板载台边缘的距离，并传输至控制装置计算出基板的偏移量，控制装置根据基板的偏移量向对位单元发送控制命令，使对位单元产生相应的动作调整基板的位置。本发明在不良发生前确认是否存在基板偏移问题；极大地提高基板偏移的校准精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对位 检测 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板对位检测校准装置，其特征在于，包括：设置在基板载台上的对位单元、控制装置和基板位置检测单元；所述对位单元包括可升降的锥形头部；多个对位单元和所述基板位置检测单元分别与所述控制装置通信连接；所述基板位置检测单元扫描基板边缘，检测基板边缘到基板载台边缘的距离，并传输至控制装置计算出基板的偏移量，控制装置根据基板的偏移量向对位单元发送控制命令，使对位单元产生相应的动作调整基板的位置。
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