[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置，用以提高材料的利用率，提高环境效益，提高半导体器件的精密度。阵列基板的制作方法包括在衬底基板上制作像素电极；在像素电极上通过构图工艺制作栅极线、数据线、与像素电极连接的电极块，栅极线和数据线在相交位置处断开；在晶圆衬底上制作若干薄膜晶体管，每一薄膜晶体管包括同层相互绝缘制作的源电极、漏电极和栅电极制作，以及同层相互绝缘制作的源电极键合电极、漏电极键合电极和栅电极键合电极；将每一薄膜晶体管与晶圆衬底分离，并分别将栅电极键合电极与预设位置处的栅极线键合，将源电极键合电极与预设位置处的数据线键合，将漏电极键合电极与预设位置处的电极块键合。

主权项

一种阵列基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：在衬底基板上通过构图工艺制作像素电极；在制作完成所述像素电极的衬底基板上通过构图工艺制作栅极线、数据线以及与所述像素电极电连接的电极块，所述栅极线和所述数据线在相交位置处断开；在晶圆衬底上制作若干薄膜晶体管，每一所述薄膜晶体管包括同层绝缘制作的源电极、漏电极和栅电极，以及位于源电极、漏电极和栅电极上，同层绝缘制作的源电极键合电极、漏电极键合电极和栅电极键合电极；所述源电极键合电极与所述源电极电连接，所述漏电极键合电极与所述漏电极电连接，所述栅电极键合电极与所述栅电极电连接；将每一个薄膜晶体管与晶圆衬底分离，并分别将栅电极键合电极与预设位置处的栅极线键合，将源电极键合电极与预设位置处的数据线键合，将漏电极键合电极与预设位置处的电极块键合。