[发明专利]基板检查方法及基板检查装置有效
| 申请号： | 201510612258.1 | 申请日： | 2015-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN105510798B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 山下宗宽 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R27/14 |
| 代理公司： | 11286 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 金玉兰;王颖 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 涉及一种能够在短时间内简便地实施触头的与检查点的抵接确认的基板检测方法及基板检查装置。基板检测方法是对形成有多条布线的基板的该布线图案进行四端子测定法的基板检查方法，其特征在于，使连接到与检测单元连接的上游侧检测端子和下游侧检测端子的触头串联连接，将电力供给到串联的触头，来进行该串联的触头间的电气测定，根据电力和电气测定结果计算串联的触头间的电特性；基于计算出的电特性，判定串联的触头与检查点的导通接触状态。 | ||
| 搜索关键词： | 触头 串联 基板检测 电特性 检查点 检测 基板检查装置 布线图案 单元连接 电力供给 基板检查 接触状态 测定法 布线 导通 抵接 基板 判定 上游 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其特征在于，/n所述基板检查装置对形成有多条布线的基板的布线进行导通检查，并且在进行导通检查时使一对触头导通接触到检查点而在检查点间实施四端子测定，/n所述基板检查装置具备：/n电源单元，将电力供给到所述检查点间，/n上游侧电力端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并与所述电源单元的上游侧连接，/n下游侧电力端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并与所述电源单元的下游侧连接，/n检测单元，检测所述检查点间的电压，/n上游侧检测端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并与所述检测单元的上游侧连接，/n下游侧检测端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并与所述检测单元的下游侧连接，/n连接端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并且连接该多个触头，/n选择单元，选择出实施四端子测定时用于与所述上游侧电力端子连接的所述触头、用于与所述下游侧电力端子连接的所述触头、用于与所述上游侧检测端子连接的所述触头、以及用于与所述下游侧检测端子连接的所述触头，以及/n控制单元，分别使所述电源单元、所述检测单元和所述选择单元工作，促进用于实施所述四端子测定的测定处理，/n所述控制单元，/n通过所述连接端子和各所述布线，将多个所述触头之中由所述选择单元选择出的用于与所述上游侧检测端子连接的所述触头和用于与所述下游侧检测端子连接的所述触头以不经由用于与所述上游侧电力端子连接的所述触头和用于与所述下游侧电力端子连接的所述触头的方式串联连接，/n使电力从所述电源单元供给到串联连接的检查点间，通过所述检测单元检测出该检查点间的电压值，基于该电压值判断该触头与该检查点的导通接触状态。/n
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