[发明专利]用于布线和真空的具有贯穿通道的光电封装件有效
申请号: | 201510617216.7 | 申请日: | 2015-09-24 |
公开(公告)号: | CN105470315B | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | R·帕萨;W·弗伦奇 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0203 | 分类号: | H01L31/0203;H01L31/18 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 赵蓉民;赵志刚 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及用于布线和真空的具有贯穿通道的光电封装件。一种层叠的光电封装设备(300)包括封装材料内的多个层叠的部件,所述封装件具有为所述封装件提供侧壁和底壁的封装壳体和密封所述封装件的顶部的封盖(174)。所述层叠的部件包括具有顶面和底面的第一型腔模(252),所述第一型腔模(252)包括形成于所述底面中的至少一个贯穿通道。底模(251)具有包括至少一条电气迹线(354、357)的顶面和在其上的光源模(180)。所述第一型腔模的所述贯穿通道中的至少一个与所述电气迹线对准,并且所述第一型腔模被接合到所述底模,其中所述电气迹线在所述贯穿通道内,并且不接触所述第一型腔模,以提供真空密封结构。光电检测器(PD)被光学耦合以接收源自光源的光。 | ||
搜索关键词: | 用于 布线 真空 具有 贯穿 通道 光电 封装 | ||
【主权项】:
1.一种层叠的光电封装设备,其包括:在包括封装材料的封装件内的多个层叠的部件,所述封装件具有为所述封装件提供侧壁和底壁的封装壳体和用于密封所述封装件的顶部的封盖,所述多个层叠的部件包括:具有顶面和底面的第一型腔模,所述第一型腔模包括形成于所述底面中的至少一个贯穿通道;底模,所述底模具有包括在其上的至少一条电气迹线的顶面和耦合到所述电气迹线的用于发射光的光源模;其中所述第一型腔模的所述贯穿通道中的至少一个与所述电气迹线对准;其中所述第一型腔模被接合到所述底模;其中所述电气迹线在所述贯穿通道内,并且不接触所述第一型腔模以提供内部真空密封结构,以及光电检测器模即PD模,其被光学耦合来接收源自所述光源模的所述光。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的