[发明专利]直接曝光装置有效
| 申请号： | 201510617271.6 | 申请日： | 2015-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN105467773B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 桥本典夫;森田亮 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 直接曝光装置，在将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件的直接曝光装置中，能够在抑制曝光辊直径增大的同时，扩大曝光图像的焦点对准区，并使描绘图案的线条变细。该直接曝光装置具有：圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及曝光构件，其在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。 | ||
| 搜索关键词： | 直接 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种直接曝光装置，其使用了光调制元件阵列，将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件，所述直接曝光装置的特征在于，具有：圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；切线方向引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及第1曝光构件，其至少在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案，拍摄形成于上述长条状工件的对准标记的对准相机配置在隔着上述圆筒部件而与上述曝光构件相对的位置处。
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