[发明专利]压印装置、压印方法及物品制造方法有效
| 申请号： | 201510622590.6 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105487334B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 近藤阳介;小桥敏范 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压印装置、压印方法及物品制造方法。所述压印装置包括：基板台；分配单元；照射单元；接收单元，其被构造为接收从所述分配单元虚拟分配的压印材料；以及控制器，其被构造为使所述虚拟分配的压印材料被来自所述照射单元的能量束照射，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 物品 制造 | ||
【主权项】：
1.一种压印装置，其用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：基板台，其被构造为保持所述基板；分配单元，其被构造为将所述压印材料分配在所述基板上；照射单元，其被构造为照射固化所述压印材料的能量束；接收单元，其被构造为接收从所述分配单元虚拟分配的压印材料；以及控制器，其被构造为使所述虚拟分配的压印材料被来自所述照射单元的能量束照射，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。
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