[发明专利]一种TEM样品的定位方法在审
| 申请号： | 201510623479.9 | 申请日： | 2015-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN105352768A | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 陈强;高林;史燕萍 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TEM样品的定位方法，包括：步骤1：提供具有重复单元结构的产品，并确定该产品上的失效单元的位置；步骤2：在产品表面制作与所述失效单元对应的定位标记和警示标记；步骤3：在所述失效单元上方沉积第一金属保护层，所述第一金属保护层部分覆盖所述定位标记和警示标记；步骤4：在所述第一金属保护层上沉积第二金属保护层；步骤5：根据所述定位标记和警示标记切割产品制备TEM样品。本发明可以对具有重复单元结构的产品进行精确定位，实现TEM样品的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tem 样品 定位 方法 | ||
【主权项】：
一种TEM样品的定位方法，其特征在于，包括：步骤1：提供具有重复单元结构的产品，并确定该产品上的失效单元的位置；步骤2：在产品表面制作与所述失效单元对应的定位标记和警示标记；步骤3：在所述失效单元上方沉积第一金属保护层，所述第一金属保护层部分覆盖所述定位标记和警示标记；步骤4：在所述第一金属保护层上沉积第二金属保护层；步骤5：根据所述定位标记和警示标记切割产品制备TEM样品。
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