[发明专利]一种彩色滤光片基板及其制造方法、液晶显示面板有效
申请号: | 201510625950.8 | 申请日: | 2015-09-28 |
公开(公告)号: | CN105093668B | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 陈珍霞;马小龙;李泳锐 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 朱绘;李心稳 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种彩色滤光片基板、彩色滤光片基板的制造方法和液晶显示面板。所述彩色滤光片基板包括衬底基板;黑矩阵层,其包括形成在衬底基板的第一表面上的边框;金属网格层,其包括形成在与衬底基板的第一表面相对的第二表面上的网格线;其中,金属网格层的网格线与黑矩阵层的边框对应设置,且金属网格层的网格线在衬底基板上的投影区域位于黑矩阵层的边框在衬底基板上的投影区域的内部。本申请采用金属网格作为静电传导层,能够同时保证高较高的穿透率和较低的面电阻,提高静电传导能力。 | ||
搜索关键词: | 衬底基板 彩色滤光片基板 边框 金属网格层 黑矩阵层 网格线 液晶显示面板 第一表面 静电传导 投影区域 第二表面 金属网格 穿透率 面电阻 制造 申请 保证 | ||
【主权项】:
1.一种彩色滤光片基板的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一衬底基板;在衬底基板的第一表面上形成黑矩阵层的边框;在与衬底基板的第一表面相对的第二表面上形成金属网格层的网格线,并使金属网格层的网格线与黑矩阵层的边框对应设置,且金属网格层的网格线在衬底基板上的投影区域位于黑矩阵层的边框在衬底基板上的投影区域的内部;其中,在与衬底基板的第一表面相对的第二表面上形成金属网格层的网格线的步骤包括:在衬底基板的第二表面上涂布光刻胶;利用掩模板对光刻胶进行曝光并显影,形成缺口区域和残留区域;在缺口区域和残留区域上沉积金属膜;采用显影工艺去掉残留区域以及残留区域上沉积的金属膜,保留由缺口区域上沉积的金属膜,获得金属网格层;其中,所述光刻胶的厚度为1.5μm至5μm,所述金属膜的厚度为10nm至100nm,沉积在所述缺口区域的金属膜与沉积在所述残留区域上的金属膜之间不连续。
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