[发明专利]一种精馏尾气回收系统有效
| 申请号： | 201510639584.1 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106554021B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 蒋鹏;王玉丽;邹飞;刘长圣;青培松;余洋;颉刚刚 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供一种精馏尾气回收系统，所述精馏尾气包括携带有磷、硼杂质的氯硅烷气体，所述回收系统包括反歧化塔和杂质吸附装置，在所述反歧化塔内，从上部进料口进入的四氯化硅物料对从下部进料口进入的精馏尾气进行淋洗并发生反歧化反应，反应生成的三氯氢硅及其携带的磷、硼杂质作为初步净化气从反歧化塔的气相出口输出，所述精馏尾气中的剩余物质和未反应的四氯化硅物料从反歧化塔的排液口排出，所述杂质吸附装置用于对所述初步净化气进行吸附处理，以去除其中的磷、硼杂质。本发明所述回收系统能够将精馏尾气中的氯硅烷较好地回收，从而节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 精馏 反歧化 尾气 硼杂质 尾气回收系统 杂质吸附装置 初步净化 回收系统 四氯化硅 反歧化反应 氯硅烷气体 上部进料口 气相出口 三氯氢硅 剩余物质 下部进料 携带 氯硅烷 排液口 淋洗 排出 吸附 去除 生产成本 回收 输出 节约 | ||
【主权项】：
1.一种精馏尾气回收系统，所述精馏尾气包括携带有磷、硼杂质的氯硅烷气体，其特征在于，所述回收系统包括反歧化塔和杂质吸附装置，在所述反歧化塔内，从上部进料口进入的四氯化硅物料对从下部进料口进入的精馏尾气进行淋洗并发生反歧化反应，反应生成的三氯氢硅及其携带的磷、硼杂质作为初步净化气从反歧化塔的气相出口输出，所述精馏尾气中的剩余物质和未反应的四氯化硅物料从反歧化塔的排液口排出，所述杂质吸附装置用于对所述初步净化气进行吸附处理，以去除其中的磷、硼杂质；所述回收系统还包括冷却器，用于对所述精馏尾气进行冷却处理，冷却处理形成的不凝气，从冷却器的气相出口输出至反歧化塔下部的气相进料口，所述不凝气含有少量三氯氢硅气体和大量二氯二氢硅气体；冷却处理形成的冷凝液，从冷却器的液相出口输出至反歧化塔下部的液相进料口，所述冷凝液含有大量液相三氯氢硅和少量液相二氯二氢硅；从反歧化塔的气相进料口进入的所述不凝气在上升过程中与塔顶喷淋而下的四氯化硅物料逆流接触而不断发生反歧化反应。
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