[发明专利]基板切断装置的运转方法和基板切断装置

摘要

基板切断装置的运转方法和基板切断装置。本发明的课题在于，提供在基板切断装置中无需在切断后对基板进行清扫的那样的浮游物高效去除技术。基板切断装置的运转方法中包括如下工序：基板切断工序，利用工具将基板切断，在该切断中产生的切屑经切断夹具通过排气机构被排出；以及浮游物排出工序，在将完成切断的基板从切断夹具取下并将下一基板载置到切断夹具上时，向切断夹具的周围飞散或浮游的切屑经多孔板通过排气机构被排出。由于在浮游物排出工序中强制地将浮游物排出，因此无需担心浮游物附着于基板。

主权项

1.一种基板切断装置的运转方法，上述基板切断装置具备：切断夹具，其载置基板；排气孔，其是该切断夹具所具有的排气孔；工具，其具有将上述基板切断的刃部；以及排气机构，其对通过该工具切断而产生的切屑进行抽吸，上述基板切断装置的运转方法的特征在于，包括：利用上述排气孔对基板切断工序时产生的切屑进行抽吸的排气方法，其中上述基板切断工序是一边从以围绕上述刃部的方式喷射空气的喷射筒喷射空气，一边利用上述工具将上述基板切断的工序；以及利用配置在上述切断夹具的周围的多孔板对非切断工序时飞散或浮游的切屑进行抽吸的排气方法，其中上述非切断工序是在将完成切断的上述基板从上述切断夹具取下、在切断夹具上没有载置基板的工序，顺次地重复进行上述基板切断工序时的切屑的排气和上述非切断工序时的切屑的排气，使上述排气机构连续地进行运转。