[发明专利]影像传感芯片的封装方法以及封装结构在审
申请号: | 201510650103.7 | 申请日: | 2015-10-10 |
公开(公告)号: | CN105244339A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 王之奇;王卓伟;谢国梁 | 申请(专利权)人: | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215026 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供影像传感芯片的封装方法以及封装结构,包括:提供晶圆,具有第一表面以及与所述第一表面相背的第二表面,所述晶圆具有多颗网格排布的影像传感芯片,具有影像传感区以及焊垫,所述影像传感区以及焊垫位于所述晶圆的第一表面侧;于所述晶圆的第二表面形成朝向第一表面延伸的开孔,所述开孔暴露出所述焊垫;于所述晶圆的第二表面形成朝向第一表面延伸的V型切割槽;在所述晶圆第二表面涂布感光油墨,使感光油墨充满所述V型切割槽,且所述感光油墨覆盖所述开孔并在所述开孔中形成空腔,通过在开孔中形成空腔,有效避免再布线层与焊垫脱离的情况,提升了影像传感芯片的封装良率,提高了影像传感芯片封装结构的信赖性。 | ||
搜索关键词: | 影像 传感 芯片 封装 方法 以及 结构 | ||
【主权项】:
一种影像传感芯片的封装方法,包括:提供晶圆,所述晶圆具有第一表面以及与所述第一表面相背的第二表面,所述晶圆具有多颗网格排布的影像传感芯片,影像传感芯片具有影像传感区以及焊垫,所述影像传感区以及焊垫位于所述晶圆的第一表面侧;于所述晶圆的第二表面形成朝向第一表面延伸的开孔,所述开孔暴露出所述焊垫;其特征在于,所述封装方法还包括:于所述晶圆的第二表面形成朝向第一表面延伸的V型切割槽;在所述晶圆的第二表面涂布感光油墨,使感光油墨充满所述V型切割槽,且所述感光油墨覆盖所述开孔并在所述开孔中形成空腔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州晶方半导体科技股份有限公司,未经苏州晶方半导体科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510650103.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:汽轮机单阀或多阀的一种非线性自动无扰切换方法
- 下一篇:光反应器及其制造方法