[发明专利]柔性显示装置的制作方法及制得的柔性显示装置有效
申请号: | 201510655751.1 | 申请日: | 2015-10-10 |
公开(公告)号: | CN105226186B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 余赟;张启沛 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司;武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种柔性显示装置的制作方法及制得的柔性显示装置,本发明的柔性显示装置的制作方法,通过采用一连接层代替现有技术中的剥离层和粘结层,既能够增强柔性衬底基板与硬质载体基板之间的结合强度,又可以作为剥离层容易实现柔性衬底基板与硬质载体基板的分离;又通过在软玻璃基板的一侧或两侧增设隔热层,能够隔绝高温制程、ELA过程、激光剥离过程中产生的热量,缓解热量对软玻璃基板及显示器件产生的热冲击,避免因软玻璃基板脆性增加而造成裂纹,提高制得的柔性显示装置的性能。 | ||
搜索关键词: | 柔性显示装置 基板 软玻璃 衬底基板 硬质载体 剥离层 制作 脆性 激光剥离 显示器件 隔热层 连接层 热冲击 粘结层 制程 增设 缓解 | ||
【主权项】:
1.一种柔性显示装置的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供一载体基板(1),在所述载体基板(1)上采用等离子体增强化学气相沉积方法沉积一连接层(2);步骤2、在所述连接层(2)上制作柔性基板(3),所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)与至少设于所述软玻璃基板(31)一侧的一隔热层(32);步骤3、在所述柔性基板(3)上形成阻挡层(4);步骤4、在所述阻挡层(4)上形成显示结构单元(5)、及设于所述显示结构单元(5)上的封装结构单元(6);步骤5、采用激光镭射的方法将所述载体基板(1)与柔性基板(3)分离,所述连接层(2)留在所述柔性基板(3)上,得到一柔性显示装置,所述柔性显示装置包括柔性基板(3)、设于所述柔性基板(3)下表面的连接层(2)、设于所述柔性基板(3)上的阻挡层(4)、设于所述阻挡层(4)上的显示结构单元(5)、及设于所述显示结构单元(5)上的封装结构单元(6);所述连接层(2)为SiO2 层或SiNx 层。
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