[发明专利]一种风刀及具有风刀的湿法处理装置

摘要

本发明涉及湿制程设备领域，公开了一种风刀，包括进风部和出风部，所述进风部与出风部连通，所述进风部设置有进风口，所述出风部设置有多个排风通道，每个排风通道向水平面倾斜设置，所述排风通道与水平面的夹角为排风通道的倾斜角度，且多个排风通道的倾斜角度不完全相同，气流通过排风通道排出风刀，本发明还公开了一种具有风刀的湿法处理装置。本发明的风刀的进风压力与风量需求适中，气流结构设计合理，出气均匀且向不同的角度喷出，防止硅片受力不均而发生破裂或残留水渍。

主权项

一种风刀，其特征在于，包括进风部(3)和出风部(2)，所述进风部(3)与出风部(2)连通，所述进风部(3)设置有进风口(32)，所述出风部(2)设置有多个排风通道(22)，每个排风通道(22)向水平面倾斜设置，所述排风通道(22)与水平面的夹角为排风通道(22)的倾斜角度，且多个排风通道(22)的倾斜角度不完全相同。