[发明专利]一种AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法

摘要

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法，本发明通过在原有AL刻蚀机台上添加一在第一干燥腔体的输出端口添加一分流阀，使经过第一干燥腔体干燥后的第一气体中的一部分流入第二干燥气体的输出端口，使该部分第一气体完成对第二气体的加热，采用本技术方案，可以实现AL刻蚀机台中的附属腔体中的高温气体的热量再利用，实现了对主蚀刻腔体的管路的加热，同时，无需外围的加热设备，在节约了相应的加热设备的购置和耗能成本的同时，达到了给主刻蚀腔体中排出的气体的加热效果。 1

主权项

1.一种铝刻蚀机台热量再利用的装置，其特征在于，所述装置包括：附属腔体以及主蚀刻腔体；第一干燥腔室，与所述附属腔体贯通连接，以干燥所述附属腔体流出的第一气体；第二干燥腔室，与所述主蚀刻腔体贯通连接，以干燥所述主蚀刻腔体流出的第二气体；分流阀，包括一输入端口和至少一第一输出端口以及一第二输出端口，所述输入端口与所述第一干燥腔室连接，所述第一输出端口将所述输入端口输入的部分气体流入净气腔，所述第二输出端口通过一温度计流入净气腔；其中，所述第二干燥腔室与所述第二输出端口连接，所述第二干燥腔室流出的气体经过所述温度计流入所述净气腔；所述分流阀的第二输出端口通过一压力计与所述第二干燥腔室的输出端口连接。