[发明专利]具备末端执行器的机器人及其运行方法

摘要

本发明的末端执行器构成为安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变托板部件彼此的托板间隔；托板支撑部，支撑多个托板部件，与多个托板部件一体地被机器人驱动；以及托板驱动单元，使多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变托板间隔。

主权项

一种末端执行器，安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：多个托板部件，构成为能够分别保持基板，上述多个托板部件中的至少一个托板部件能够相对于其它的托板部件移动；托板支撑部，支撑上述多个托板部件，与上述多个托板部件一体地被上述机器人驱动；托板驱动单元，使上述至少一个托板部件相对于其它的托板部件移动，切换成下述的两种状态，即在相对于由上述托板部件保持的上述基板的表面垂直的基板垂线方向上，上述至少一个托板部件的基板保持面与上述其它的托板部件的基板保持面相比位于基板保持侧的状态，和上述其它的托板部件的上述基板保持面与上述至少一个托板部件的上述基板保持面相比位于基板保持侧的状态；上述多个托板部件分别具有固定单元，在运送上述基板之际固定上述基板，使上述基板不脱离上述托板部件；上述固定单元包含具有能够释放地与上述基板的缘部抵接的可动抵接部的边缘引导机构；上述多个托板部件各自的上述边缘引导机构相互独立地被驱动。