[发明专利]高可靠表面贴装玻封二极管的封装工艺有效

专利信息
申请号: 201510668834.4 申请日: 2015-10-13
公开(公告)号: CN105336768B 公开(公告)日: 2018-10-26
发明(设计)人: 李东华;马捷;侯杰;韩希方;侯秀萍;张庆猛 申请(专利权)人: 济南市半导体元件实验所
主分类号: H01L29/66 分类号: H01L29/66;H01L21/60
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 李桂存
地址: 250014*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种高可靠表面贴装玻封二极管的封装工艺,所述二极管包括玻壳、位于玻壳内的芯片、套设在玻壳两端的引出端,引出端与芯片之间设有焊片,二极管的引出端与玻壳、引出端与焊片、芯片通过高温冶金工艺键合在一起。冶金键合结构具有可靠性高、耐大电流冲击、热阻小的优点,且工作温度范围宽(‑55℃~125℃),耐高温焊接(在550℃环境下15分钟,参数不恶化);产品选材实现了产品的全工作温度范围的热匹配;整个工艺过程中采用氮气为保护气体,生产安全,无危险气体使用;制成的二极管安装体积小,组装密度高,重量轻;工艺操作简单,易实现批量或大规模生产。
搜索关键词: 可靠 表面 贴装玻封 二极管 封装 工艺
【主权项】:
1.一种表面贴装玻封二极管的封装工艺,所述二极管包括玻壳、位于玻壳内的芯片、套设在玻壳两端的引出端,引出端与芯片之间设有焊片,其特征在于:二极管的引出端与玻壳通过高温冶金工艺键合在一起,引出端与焊片、芯片通过高温冶金工艺键合在一起,高温冶金键合温度为620℃±20℃;具体包括以下步骤:1)、制备芯片,设芯片硅层厚度为x,单位mm,芯片银层厚度0.01mm,芯片厚度为210μm±50μm,根据公式(x+0.01+y)*8.0×10‑6=x*4.2×10‑6+(0.01+y)*18.9×10‑6计算出焊片厚度y,单位mm,实现热匹配,焊片为银铜锡片,银铜锡的重量比为6:3:1;2)、用模具将芯片、焊片、引出端和玻壳装配在一起;3)、氮气烧结,打开烧结炉,按工艺条件设置工作温度及氮气流量,氮气流量为1000ml/min±10ml/min,待炉口温度升到300℃±20℃时,将装有半成品器件的模具放至炉口预热至少10min;炉温升到620℃±20℃后,将模具推入恒温区,达到预定的恒温时间将模具拉至炉口冷却30min,最后取出模具自然冷却到室温,完成封装,实现引出端、焊片与芯片的冶金键合以及玻壳与引出端的密封。
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