[发明专利]基片及基片形成方法在审
申请号: | 201510671453.1 | 申请日: | 2015-10-15 |
公开(公告)号: | CN106601784A | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 吴明驰 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/15;H01L29/20;H01L21/02 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 张大威 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种基片及基片形成方法,其中,基片包括衬底;形成在衬底之上的外延层,外延层上具有多个微型坑,其中,多个微型坑通过熔融氢氧化钾在外延层上刻蚀形成;形成在外延层上的量子点发光层;形成在量子点发光层上的电子阻挡层;以及形成在电子阻挡层上的帽层。根据本发明实施例的基片,能够简单方便地形成量子点结构,生产效率和质量水平较高,推动了性能优越的量子点结构的光电子器件的发展。 | ||
搜索关键词: | 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种基片,其特征在于,包括:衬底;形成在所述衬底之上的外延层,所述外延层上具有多个微型坑,其中,所述多个微型坑通过熔融氢氧化钾在所述外延层上刻蚀形成;形成在所述外延层上的量子点发光层;形成在所述量子点发光层上的电子阻挡层;以及形成在所述电子阻挡层上的帽层。
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