[发明专利]一种Ni亚微米管的制备方法在审
| 申请号： | 201510673414.5 | 申请日： | 2015-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN105349954A | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 张伟;陈昶;刘春海;崔学军;杨瑞嵩;陈建;金永中;曾宪光 | 申请（专利权）人： | 四川理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/58;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 董芙蓉 |
| 地址： | 643000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种Ni亚微米管的制备方法，先将基底和Ni靶材进行清洗预处理；然后采用磁控溅射在基底上沉积Ni层；接着利用高真空对沉积后的模板进行退火热处理；最后用碱液溶解模板，除去模板后用去离子水洗涤，即得到Ni亚微米管。本发明工艺简单易行且重复性好，成本低，清洁环保，适合于规模化应用；所制得的Ni亚微米管高度有序，大小均一，结构稳定，并可采用不同规格的AAO模板制备不同长度和大小的Ni亚微米管以满足实际需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ni 微米 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种Ni亚微米管的制备方法，其特征在于，先将基底和Ni靶材进行清洗预处理；然后采用磁控溅射在基底上沉积Ni层；接着利用高真空对沉积后的模板进行退火热处理；最后用碱液溶解模板，除去模板后清洗，即得到Ni亚微米管。
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