[发明专利]一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置有效
| 申请号： | 201510710206.8 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106653548B | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 左涛涛;吴狄;何乃明 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，将壳体、磁屏蔽罩采用导磁材料制成，在壳体的一侧面设有均匀分布的多个冷却孔，并将磁屏蔽罩设置在带有多个冷却孔的壳体的一侧面上。使得电感耦合等离子体反应器在工作时，绝缘窗冷却装置既能够起到风冷作用，又能够实现外界磁场对电感耦合等离子体反应器刻蚀工作的干扰屏蔽，提高刻蚀效率、产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 屏蔽 功能 绝缘 冷却 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，该冷却装置设置于电感耦合等离子体反应器的容器腔体（100）顶部，该冷却装置包含：绝缘板（10）、设置在该绝缘板（10）上的线圈（20）、风扇（30），其特征在于，该冷却装置还包含：壳体（40），设置在所述绝缘板（10）上，所述壳体（40）的一侧壁上间隔设有多个冷却孔（41）；所述壳体（40）采用导磁材料制成；磁屏蔽罩（50），设置在所述壳体（40）的具有多个冷却孔的侧壁上，并且所述磁屏蔽罩与侧壁之间形成一个气流通道，使得冷却孔（41）中流出气流经过所述气流通道向下到达下方的开口（52），所述开口（52）位于多个冷却孔（41）下方，所述磁屏蔽罩（50）采用导磁材料制成。
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