[发明专利]一种束流检测装置在审
| 申请号： | 201510710270.6 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106653544A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 梁旭 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244;G01T1/29 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种束流检测装置，包括束流接收模块、气缸导轨运动模块、波纹管真空密封模块，所述束流接收模块由杯体焊接、磁铁、石墨块零件等组成，该束流接收模块通过气缸导轨运动模块运动，使束流接收模块运动到光路中心位置，对束流大小进行检测。所述气缸导轨运动模块由气缸、导轨及连接部件绝缘部件构成，该气缸导轨运动模块实现了束流接收模块的直线稳定运动。所述波纹管真空密封模块主要由运动轴、真空波纹管和连接零件组成，该模块能够在保证高真空度的条件下实现束流接收模块的平稳运动。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种束流检测装置，包括束流接收模块(1)、气缸导轨运动模块(2)、波纹管真空密封模块(3)，其特征在于：该束流检测装置能够接收分析器后端的束流，并且能够实现对束流大小准确的测量，具有直线运动平稳，测量准确，不影响高真空等优点。
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