[发明专利]一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶在审
| 申请号： | 201510724265.0 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105292762A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 朱治国;朱骏;陈力钧 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B65D77/06 | 分类号： | B65D77/06;B65D23/00;B65D47/06 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶，包括密封的内、外两层，外层为带有接口的光刻胶瓶身，内层为软性内囊，用于容纳光刻胶，一氮气管从接口通入瓶身和内囊之间，一光刻胶导管从接口处插入内囊中，瓶身内底部固设有一凹槽形凸起结构，内囊下端具有一与凸起结构的凹槽侧壁对应的开口，并通过其开口与凹槽侧壁密封连接，光刻胶导管下端伸入凸起结构的凹槽内，当内囊受压时，无法接触到导管下端的光刻胶出口造成其堵塞，从而避免了因此问题而导致的气泡和涂布异常现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 覆盖 不良 光刻 | ||
【主权项】：
一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶，包括密封的内、外两层，外层为带有接口的光刻胶瓶身，内层为软性内囊，用于容纳光刻胶，一氮气管从接口通入瓶身和内囊之间，一光刻胶导管从接口处插入内囊中，其特征在于，所述瓶身内底部固设有一凹槽形凸起结构，所述内囊下端具有一与所述凸起结构的凹槽侧壁对应的开口，并通过所述开口与凹槽侧壁密封连接，所述光刻胶导管下端伸入所述凸起结构的凹槽内。
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