[发明专利]稀土金属靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201510729783.1 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN106637100B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王志强;吴道高;张小伟;陈德宏;张虎;程军;杨宏博;杨秉政 | 申请（专利权）人： | 有研稀土新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种稀土金属靶材及其制备方法。该制备方法包括：步骤S1，采用水冷坩埚悬浮熔炼方法将稀土金属熔炼成稀土金属熔液；步骤S2，对稀土金属熔液进行下拉铸锭，得到稀土金属铸锭；以及步骤S3，对稀土金属铸锭进行锻造轧制以及机械加工，获得稀土金属靶材。通过采用水冷坩埚悬浮熔炼方法进行熔炼及下拉方式铸锭，不仅能够防止熔液被坩埚污染，而且利用下拉过程中对凝固收缩进行补偿，消除气孔和疏松等优势，获得相对平整的凝固界面，避免枝晶迅速生长导致晶粒粗大，进而使内部致密无缺陷，不仅利于后续锻造轧制，而且能够获得大尺寸的稀土金属靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土金属 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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