[发明专利]大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺在审
| 申请号： | 201510748332.2 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN105525355A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 鲁永;蔡申;应江辉;李陈涛 | 申请（专利权）人： | 浙江露通机电有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏;郑新军 |
| 地址： | 311822 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及晶体材料加工技术领域，公开了一种大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺，在泡生法生长蓝宝石晶体完成后，蓝宝石晶体保持原位，保持单晶炉的真空度，经过五个阶段的退火得到性能稳定、品质高的蓝宝石晶体。采用分阶段保温退火能有效的降低大尺寸蓝宝石的位错密封，最大限度的消除晶体内应力，改良晶格，减少晶体缺陷，提高蓝宝石晶体的整体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 蓝宝石 晶体 原位 退火 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺，其特征是，在泡生法生长蓝宝石晶体完成后，蓝宝石晶体保持原位，保持单晶炉的真空度，退火工艺包括以下五个阶段；第一阶段：提高加热器功率，以15-20℃/h的速率将单晶炉内的温度升高2-3℃；再降低加热功率，以5-10℃/h的速率将单晶炉内的温度降低3-4℃，保温0.5h；第二阶段：降低加热功率，以20-25℃/h的速率将单晶炉内的温度降低到1750℃，保温4h；第三阶段：提高加热功率，以10-15℃/h的速率将单晶炉内的温度提高1-2℃，保温0.5h；再降低加热功率，以3-5℃/h的速率将单晶炉内的温度降低2-3℃，保温0.5h；第四阶段：降低加热功率，以25-30℃/h的速率将单晶炉内的温度降低到800℃，保温4h；第五阶段：降低加热功率，以30-40℃/h的速率对单晶炉进行降温，直到加热器功率为零，冷却后取出蓝宝石晶体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江露通机电有限公司，未经浙江露通机电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510748332.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种苎麻生物脱胶方法
- 下一篇：一种不锈钢电解抛光液
