[发明专利]半导体器件有效
申请号: | 201510750308.2 | 申请日: | 2015-11-06 |
公开(公告)号: | CN105590924B | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 全炫锡;朴钟宇;朴哲镛;尹贞元 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01L23/522 |
代理公司: | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 王新华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本公开提供了半导体器件。半导体器件包括:在基板上的层间绝缘层;第一电容器结构,在层间绝缘层中;以及导电层,包括在层间绝缘层上的端子焊盘。第一电容器结构包括至少一个第一叠层,该至少一个第一叠层包括顺序地在基板上的第一下电极、第一电容器绝缘层和第一上电极。端子焊盘不与第一电容器结构交叠。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:/n在基板上的层间绝缘层;/n第一电容器结构,在所述层间绝缘层中并且包括通孔,其中所述第一电容器结构包括至少一个第一叠层,所述至少一个第一叠层包括顺序地在所述基板上的第一下电极、第一电容器绝缘层和第一上电极;以及/n导电层,包括在所述层间绝缘层上的端子焊盘,所述端子焊盘不与所述第一电容器结构交叠,所述端子焊盘在平面图上位于所述通孔内。/n
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