[发明专利]半导体到金属的过渡有效
申请号: | 201510774075.X | 申请日: | 2015-11-13 |
公开(公告)号: | CN105609547B | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | A.赫特尔;F.希勒;F.J.桑托斯罗德里格斯;D.施勒格尔;A.R.施特格纳;C.魏斯 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/45 | 分类号: | H01L29/45;H01L21/28 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 申屠伟进;杜荔南 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及半导体到金属的过渡。提出了一种半导体器件(1)。半导体器件(1)包括扩散阻挡层(11)、具有第一导电类型的第一电荷载流子的第一半导体区(12)和具有第二电荷载流子的第二半导体区(13)。第一半导体区(12)包含:与第二半导体区(13)接触的过渡区(123),过渡区(123)具有第一浓度的第一电荷载流子;与扩散阻挡层(11)接触的接触区(121),接触区(121)具有第二浓度的第一电荷载流子,其中,第二浓度高于第一浓度;在接触区(121)和过渡区(123)之间的损伤区(122),损伤区(122)被配置用于与接触区(121)和过渡区(123)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率相比,降低损伤区(122)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 金属 过渡 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件(1),包括扩散阻挡层(11)、具有第一导电类型的第一电荷载流子的第一半导体区(12)和具有第二电荷载流子的第二半导体区(13);其中,所述第一半导体区(12)包含:与所述第二半导体区(13)接触的过渡区(123),所述过渡区(123)具有第一浓度的所述第一电荷载流子;与所述扩散阻挡层(11)接触的接触区(121),所述接触区(121)具有第二浓度的所述第一电荷载流子,其中,所述第二浓度高于所述第一浓度;在所述接触区(121)和所述过渡区(123)之间的损伤区(122),所述损伤区(122)被配置用于与所述接触区(121)和所述过渡区(123)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率相比,降低所述损伤区(122)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率。
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