[发明专利]半导体到金属的过渡有效

专利信息
申请号: 201510774075.X 申请日: 2015-11-13
公开(公告)号: CN105609547B 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: A.赫特尔;F.希勒;F.J.桑托斯罗德里格斯;D.施勒格尔;A.R.施特格纳;C.魏斯 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L29/45 分类号: H01L29/45;H01L21/28
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 申屠伟进;杜荔南
地址: 德国瑙伊比*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及半导体到金属的过渡。提出了一种半导体器件(1)。半导体器件(1)包括扩散阻挡层(11)、具有第一导电类型的第一电荷载流子的第一半导体区(12)和具有第二电荷载流子的第二半导体区(13)。第一半导体区(12)包含:与第二半导体区(13)接触的过渡区(123),过渡区(123)具有第一浓度的第一电荷载流子;与扩散阻挡层(11)接触的接触区(121),接触区(121)具有第二浓度的第一电荷载流子,其中,第二浓度高于第一浓度;在接触区(121)和过渡区(123)之间的损伤区(122),损伤区(122)被配置用于与接触区(121)和过渡区(123)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率相比,降低损伤区(122)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率。
搜索关键词: 半导体 金属 过渡
【主权项】:
1.一种半导体器件(1),包括扩散阻挡层(11)、具有第一导电类型的第一电荷载流子的第一半导体区(12)和具有第二电荷载流子的第二半导体区(13);其中,所述第一半导体区(12)包含:与所述第二半导体区(13)接触的过渡区(123),所述过渡区(123)具有第一浓度的所述第一电荷载流子;与所述扩散阻挡层(11)接触的接触区(121),所述接触区(121)具有第二浓度的所述第一电荷载流子,其中,所述第二浓度高于所述第一浓度;在所述接触区(121)和所述过渡区(123)之间的损伤区(122),所述损伤区(122)被配置用于与所述接触区(121)和所述过渡区(123)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率相比,降低所述损伤区(122)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率。
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