[发明专利](酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法在审
| 申请号： | 201510796381.3 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN105503618A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 藤村整;金户宏树;白井昌志;二瓶央 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | C07C209/68 | 分类号： | C07C209/68;C07C211/65;C07D295/13;C23C16/18 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李艳;臧建明 |
| 地址： | 日本山口*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明公开了一种由通式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和一种使用所述金属化合物制备含该金属的薄膜的方法。(所述式中，M代表金属原子；R1代表具有1-6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1-3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环。Z代表具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基(但是，可选地，其一部分可形成环)。配位体的数目由n表示，n为1-3中的一个整数，并且等于金属M的化合价数。但是，排除M为Li(锂)、Be(铍)、Ge(锗)或Nd(钕)的情况，M为Mg(镁)且R1为甲基的情况，M为Zn(锌)且R1为甲基的情况，M为Bi(铋)且R1为叔丁基的情况。此外，当n为2或更大时，两个或多个配位体可以彼此相同或不同。) |
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| 搜索关键词： | 氨基 烷烃 金属 化合物 使用 制备 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种由式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物：![]()
其中M代表镁或锰；R1代表异丙基或叔丁基；R2和R3代表甲基；Z代表亚乙基；且n代表配位体的个数，与金属(M)的化合价相等，并且代表2；条件是两个配位体可以彼此相同或不同。
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