[发明专利]一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置

摘要

本发明公开了一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，包括探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板，探测口法兰盖装在MOCVD反应腔室顶部，探测口法兰盖上开有观察窗，探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上，可在观察窗的长度方向上自由滑动，测温仪探头垂直装在探头安装座上，探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔，通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配，探头调节架与探头安装座固定相连，螺杆安装板竖直装在探测口法兰盖上，探头调节螺杆的一端横穿螺杆安装板后伸进探头调节架的通孔中，与探头调节架构成螺母丝杆机构。本发明能有效实现对测温仪安装位置的无级精确调节。

主权项

一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，其特征在于：包括有探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板，其中，所述探测口法兰盖安装在用于生长外延片的MOCVD反应腔室的顶部，处于该MOCVD反应腔室内部托盘的上方，所述探测口法兰盖上开有观察窗，供测温仪探头能够在不同位置都可探测到托盘上晶圆片的情况，所述探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上，并可在观察窗的长度方向上自由滑动，所述测温仪探头垂直安装在该探头安装座的探头安装位处，能透过观察窗探测到托盘上相应晶圆片的情况，并能够随探头安装座一起滑动，所述探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔，该通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配，所述探头调节架与探头安装座固定相连，能随该探头安装座一起滑动，所述螺杆安装板竖直安装在探测口法兰盖上，所述探头调节螺杆的一端横穿该螺杆安装板后伸进上述探头调节架的通孔中，与该探头调节架构成螺母丝杆机构，且所述探头调节螺杆上装配有配合螺杆安装板用的限位件，用于限制该探头调节螺杆在调节时轴向移动，通过旋转所述探头调节螺杆，能使得所述探头安装座及装于该探头安装座上的测温仪探头在观察窗的长度方向上一起滑动，进而实现对测温仪探头位置的无级可调。