[发明专利]二维纳米伺服平台

摘要

本发明公开了一种二维纳米伺服平台，所述二维纳米伺服平台包括基座；终端平台；X向和Y向驱动器；第一X向和第一Y向刚性连接件，第一X向刚性连接件沿X向延伸且与X向驱动器相连，第一Y向刚性连接件沿Y向延伸且与Y向驱动器相连；第一Y向和第一X向柔性解耦件；第二X向和第二Y向刚性连接件，第二X向刚性连接件沿X向延伸且与第一X向刚性连接件刚性连接，第二Y向刚性连接件沿Y向延伸且与第一Y向刚性连接件刚性连接；第二Y向和第二X向柔性解耦件；第一和第二X向柔性导向件；以及第一和第二Y向柔性导向件。根据本发明实施例的二维纳米伺服平台具有高效率、动态稳定性好等优点。

主权项

一种二维纳米伺服平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向刚性连接件和第一Y向刚性连接件，所述第一X向刚性连接件沿X向延伸且与所述X向驱动器相连，所述第一Y向刚性连接件沿Y向延伸且与所述Y向驱动器相连；第一Y向柔性解耦件和第一X向柔性解耦件，所述第一Y向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述第一X向刚性连接件相连，所述第一X向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述第一Y向刚性连接件相连；第二X向刚性连接件和第二Y向刚性连接件，所述第二X向刚性连接件沿X向延伸且与所述第一X向刚性连接件刚性连接，所述第二Y向刚性连接件沿Y向延伸且与所述第一Y向刚性连接件刚性连接；第二Y向柔性解耦件和第二X向柔性解耦件，所述第二Y向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述第二X向刚性连接件相连，所述第二X向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述第二Y向刚性连接件相连；第一X向柔性导向件和第二X向柔性导向件，所述第一X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第一X向刚性连接件相连，所述第二X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第二X向刚性连接件相连；以及第一Y向柔性导向件和第二Y向柔性导向件，所述第一Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第一Y向刚性连接件相连，所述第二Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第二Y向刚性连接件相连。