[发明专利]一种应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统有效
| 申请号： | 201510821501.0 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN105445509B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 岳小兵;余琨;刘远华;汤雪飞;罗斌 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，包括探针卡板和至少两个芯片检测单元，每个所述芯片检测单元检测一颗射频芯片，所述芯片检测单元包括绝缘环和探针，所述绝缘环固定在所述探针卡板上，所述探针与所述绝缘环固定，所述探针远离针尖的一端与所述探针卡板焊接，所述每个芯片检测单元之间设置屏蔽层。本发明提供的悬臂式探针系统在射频芯片进行多颗并测时，有效降低了射频探针相互之间的射频串扰，在探针卡成本基本未增加的情况下，可以有效的使悬臂式探针系统的探针之间的射频串扰降低5dB‑10dB。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 射频 芯片 并行 测试 悬臂 探针 系统 | ||
【主权项】：
1.一种应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，包括探针卡板和至少两个芯片检测单元，每个所述芯片检测单元检测一颗射频芯片，所述芯片检测单元包括绝缘环和探针，所述绝缘环固定在所述探针卡板上，所述探针与所述绝缘环固定，所述探针远离针尖的一端与所述探针卡板焊接，所述每个芯片检测单元之间设置屏蔽层；所述屏蔽层设置在所述每个芯片检测单元外，所述屏蔽层一端与所述探针卡板固定，所述探针远离针尖的一端以及所述绝缘环均位于所述屏蔽层内，所述屏蔽层另一端设有开口，所述探针的针尖部分穿过所述开口。
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