[发明专利]一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法有效
申请号: | 201510823872.2 | 申请日: | 2015-11-24 |
公开(公告)号: | CN106756874B | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 刘慎思;赵钰雪;郑飞;陶智华;马贤芳;林佳继;张忠卫;石磊;阮忠立 | 申请(专利权)人: | 上海神舟新能源发展有限公司 |
主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;C23C16/458 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 林君如 |
地址: | 201112 上海市闵行*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法,包括石墨框和设置在石墨框上的若干个支撑钩,支撑钩包括本体和钩体,钩体的自由端形成钩点,所述的钩点不低于石墨框的下表面,且不高于下表面1mm,且所有支撑钩的钩点在同一水平面上;进行双面镀膜时,将双面太阳能电池工艺前期处理得到待镀膜的硅片放入该装置的支撑钩上,进入设备进行一面的镀膜,然后将镀好一面的硅片翻转180°,进行另一面的镀膜。与现有技术相比,本发明具有适用范围广、安全可靠、稳定性能好、检修方便、保养次数低、工艺性能好,同时能解决板式镀膜的绕镀产生的边缘色差问题等优点。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 支撑钩 双面太阳能电池 石墨框 氮化硅 下表面 钩体 板式 硅片翻转 检修方便 前期处理 色差问题 双面镀膜 同一水平 稳定性能 自由端 放入 硅片 保养 | ||
【主权项】:
1.一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,用于硅片的镀膜,包括石墨框和设置在石墨框上的若干个支撑钩,支撑钩包括本体和钩体,钩体的自由端形成钩点,其特征在于,所述的钩点不低于石墨框的下表面,且不高于下表面1mm,所有支撑钩的钩点在同一水平面上。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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