[发明专利]CIS晶圆成测机在审
申请号: | 201510829798.5 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN105510808A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 许传平 |
主分类号: | G01R31/302 | 分类号: | G01R31/302 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及集成电路芯片处理技术领域,公开了一种CIS晶圆成测机,包括底座和光源装置,所述光源装置安装在所述底座上,所述光源装置包括镜头安装板,在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔,在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头,在所述镜头安装板的下方设置光源安装板,在所述光源安装板内设有多个光源板,所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。本发明的滑动平台的设置使镜头与芯片的对准精确;光源的设置,使成测机结构紧凑,操作方便;镜头和光源的安装方式使镜头和光源更换时方便快速。 | ||
搜索关键词: | cis 圆成 | ||
【主权项】:
一种CIS晶圆成测机,包括底座和光源装置,所述光源装置安装在所述底座上,所述光源装置包括镜头安装板,在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔,在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头,其特征在于:在所述镜头安装板的下方设置光源安装板,在所述光源安装板内设有多个光源板,所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。
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