[发明专利]阵列基板、显示器及阵列基板的制备方法

摘要

本发明提供一种阵列基板包括基板、栅极、栅极绝缘层、有源层图形、源极、漏极、第一覆盖层及钝化层，所述栅极设置在所述基板的一个表面上；所述栅极绝缘层覆盖所述栅极上；所述有源层图形覆盖在所述栅极绝缘层上；所述源极及漏极设置于所述有源层图形上，且分别位于所述栅极的两侧；所述第一覆盖层设置于所述有源层图形上，且与所述有源层图形电连接，所述第一覆盖层未与所述源极及漏极接触；其中，所述第一覆盖层的金属材质比所述有源层图形中的金属材质活泼；所述钝化层覆盖在所述第一覆盖层、源极、漏极及有源层图形上。本发明提供了阵列基板的稳定性，使阵列基板具有较高的器件性能。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括呈矩阵分布的多个金属氧化物半导体薄膜晶体管，所述金属氧化物半导体薄膜晶体管包括：基板；栅极，所述栅极设置在所述基板的一个表面上；栅极绝缘层，所述栅极绝缘层覆盖所述栅极上；有源层图形，所述有源层图形覆盖在所述栅极绝缘层上；源极及漏极，所述源极及漏极设置于所述有源层图形上，且分别位于所述栅极的两侧；第一覆盖层，所述第一覆盖层设置于所述有源层图形上，且与所述有源层图形电连接，所述第一覆盖层未与所述源极及漏极接触；其中，所述第一覆盖层的金属材质比所述有源层图形中的金属材质活泼；钝化层，所述钝化层覆盖在所述第一覆盖层、源极、漏极及有源层图形上。