[发明专利]喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法在审
| 申请号： | 201510849666.9 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105483620A | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 邹清华 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及有机发光二极管显示技术领域，提供了喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法。本发明通过在与喷嘴间隔开的中空腔中设置有加热件，当蒸镀有机材料时，加热件可以加热升温，使喷嘴的周壁温度上升到基本保持与蒸镀腔中一致或略高于蒸镀腔，从而喷嘴中的温度保持在一个合适的范围之内，既不过低使有机材料凝结在喷嘴中，又不过高使有机材料碳化。同时由于有机材料不凝结在喷嘴中，不需要将蒸镀装置停工来清理喷嘴，提高了设备稼动率。由于有机材料不再凝结在喷嘴处或被高温碳化，因此蒸镀形成的有机材料层厚度符合设计需要，材料不会劣化，提高了有机发光二极管器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 部件 装置 制作 有机 发光二极管 器件 方法 | ||
【主权项】：
一种喷嘴部件，包括设置有喷嘴的本体，其特征在于，所述本体还设置有与所述喷嘴间隔开的中空腔，所述中空腔中设置有加热件。
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