[发明专利]一种绑定靶材用合金及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及一种绑定靶材用合金及其制备方法和应用，属于材料技术领域。其配方比例按重量份计，包括锡50‑85份，铟5‑30份，锌1‑3份，镓0.2‑5份，铝0.5‑5份，银0.5‑3份，钕0.1‑2份，通过锡锭熔化、铝粒熔化、钕熔化、银和锌块的熔化、铟和镓的熔化及浇铸制备得到绑定靶材用合金，将其用于绑定靶材和背板。本发明制备得到的合金不易氧化，每次绑定损耗在2%以下，靶材用完后此合金可以回收使用；用此合金绑定结合力强，并且软硬适中，塑性好，在靶材随温度变化收缩或膨胀时可以随形变化，也不会因为应力过大使陶瓷靶材开裂；此合金浸润性、铺展性好，粘度高，非常适合绑定工艺。

主权项

一种绑定靶材用合金，其特征是配方比例按重量份计：锡50‑85份，铟5‑30份，锌1‑3份，镓0.2‑5份，铝0.5‑5份，银0.5‑3份，钕0.1‑2份；通过锡锭熔化、铝粒熔化、钕熔化、银和锌块的熔化、铟和镓的熔化及浇铸制备得到绑定靶材用合金，将其用于绑定靶材和背板；所述绑定靶材用合金熔点180‑330℃，电阻率5‑12.6 μΩ·cm ，导热率73.2‑200W／(m·K) ，表面张力3‑8×10‑2牛/米，热膨胀系数10‑20×10‑6/℃。